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在線式高純氣體露點儀QZ361
簡要描述:
ADEV在線式高純氣體露點儀QZ361采用氧化鋁、氧化硅合成傳感器,專門用于超高純氣體中的ppb含量微量水含量測量,具有響應快,穩(wěn)定可靠,精確測量靈敏度高,操作簡單,維護量低等優(yōu)點,可應用于氣體凈化系統(tǒng)、半導體制造,高純氣體、光纖生產(chǎn),光學涂層過程,電子部件制造和特種氣體生產(chǎn)等行業(yè)。
埃登威QZ361高純氣體露點儀采用才氧化鋁、氧化硅合成傳感器,響應迅速,穩(wěn)定可靠。專門用于超高純氣體中的ppb含量微量水含量測量。在許多高純氣體的微量水含量測量的應用中,如半導體行業(yè),氣體水分含量對于產(chǎn)品工藝及產(chǎn)品質(zhì)量有著至關重要的影響。QZ361露點儀工業(yè)標準的材質(zhì)和生產(chǎn)過程結(jié)合,使得在線式高純氣體露點儀QZ361適合批量應用于半導體制造或超高純氣體管路之中。 QZ361高純氣體露點儀是基于氧化鋁氧化硅合成技術(shù),α-阿爾法相、γ-氧化鋁二氧化硅混合介質(zhì)制造工藝采用了前沿的原子層沉積技術(shù)。 傳感器的工作原理是基于多孔感濕 層對水分子的吸收。絕緣材料層厚度在10納米到50 微米之間;該吸濕介質(zhì)敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 納米到 500 納米之間厚度。因此,當周圍環(huán)境的濕度發(fā)生變化的時候,傳感器對濕度變化會做出極其快速的反應。 QZ361高純氣體露點儀的優(yōu)點 l 高靈敏度,快速響應 l 精確測量,高穩(wěn)定性 l 操作簡便,維護量低 l 可選擇現(xiàn)場顯示器 設計優(yōu)勢 ※全新的氧化鋁氧化硅傳感器 ※高達+/-2℃td 的寬量程精度測量 ※自動加熱校準功能 ※超快響應速度及出色的長期穩(wěn)定性 ※出色的抗干擾能力 ※IP65 防護等級,即使惡劣的環(huán)境下 也能提供良好的保護 |
技術(shù)參數(shù)