在線式高純氣體露點儀QZ361

埃登威QZ361高純氣體露點儀采用才氧化鋁、氧化硅合成傳感器，響應迅速，穩(wěn)定可靠。專門用于超高純氣體中的ppb含量微量水含量測量。在許多高純氣體的微量水含量測量的應用中，如半導體行業(yè)，氣體水分含量對于產(chǎn)品工藝及產(chǎn)品質(zhì)量有著至關重要的影響。QZ361露點儀工業(yè)標準的材質(zhì)和生產(chǎn)過程結(jié)合，使得在線式高純氣體露點儀QZ361適合批量應用于半導體制造或超高純氣體管路之中。

QZ361高純氣體露點儀是基于氧化鋁氧化硅合成技術(shù)，α-阿爾法相、γ-氧化鋁二氧化硅混合介質(zhì)制造工藝采用了前沿的原子層沉積技術(shù)。

傳感器的工作原理是基于多孔感濕 層對水分子的吸收。絕緣材料層厚度在10納米到50 微米之間;該吸濕介質(zhì)敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 納米到 500 納米之間厚度。因此，當周圍環(huán)境的濕度發(fā)生變化的時候，傳感器對濕度變化會做出極其快速的反應。

QZ361高純氣體露點儀的優(yōu)點

l 高靈敏度，快速響應

l  精確測量，高穩(wěn)定性

l  操作簡便，維護量低

l 可選擇現(xiàn)場顯示器

設計優(yōu)勢

※全新的氧化鋁氧化硅傳感器

※高達+/-2℃td 的寬量程精度測量

※自動加熱校準功能

※超快響應速度及出色的長期穩(wěn)定性

※出色的抗干擾能力

※IP65 防護等級，即使惡劣的環(huán)境下 也能提供良好的保護